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超小型半導体製造システム「ミニマル ファブ」   (2010)

超小型半導体製造システム「ミニマル ファブ」
(2010年〜/(国研)産業技術総合研究所)
 2014年度グッドデザイン賞・ベスト100・未来づくりデザイン賞受賞